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由于磁悬浮轴承技术具有无摩擦、率、高精度、长寿命、低噪音、无油污等突出优点，一旦实现产业化，将成为能源、节能减排、真空机械等重大战略领域的技术。 针对这一科技创新成果，在磁悬浮分子泵领域打破国外的技术垄断，提高了国内真空分子泵的技术水平，推动分子泵产品向应用发展，同时也为磁悬浮轴承的工业化进展开拓探索一条技术开发路线，为进一步推广磁悬浮轴承大规模应用提供了实际经验。
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为： （1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口，分子泵。 （2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。分子泵牵引分子泵是气体分子与高速转动的转子相碰撞而获得运动的动能，被送到出口的一种动量传输泵。它的特点是起动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特别适于抽除较重的气体。
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在正常工作时，可把水温调节到略高于来消除泵体外部可能形成的冷凝物。
启动系统要先接通冷却水流，打开前级管道阀门，再同时启动机械泵和涡轮分子泵。在泵加速到额定转速（一般为5到10min）后，就可加注液氮冷阱。此后就可按上节所介绍的步骤对真空室进行抽气。所给出的不用高真空阀门的抽气系统的操作，要比有阀门的抽气系统简便得多。操作时，先打开冷却水和前级管道阀，并同时启动机械泵和涡轮分子泵。如粗抽泵选择得当，使真空室的粗抽时间等于加速时间，那么真空系统就能在没有泵油蒸气返流的情况下把真空室抽到其本底压力。
1-检漏接口阀；2-涡轮分子泵；3-放气阀；4-电离规；5-热传导规；6-真空管路阀；7-电磁放气阀；8-机械泵。图2 不用阀门的涡轮分子泵抽气系统无阀门系统在放气和停机时，首先关闭前级管道阀，等泵转速下降到很大转速的50%时再在泵的上方充入干燥气体。当系统充到大气压时应关闭放气阀门，否则会造成真空室过压。然后按上述介绍的方法关掉机械泵并停掉冷却水。
没有单设粗抽管路的涡轮分子泵系统的操作：先打开分子泵冷却系统和前级管路阀，并同时启动前级（粗抽）机械泵和涡轮分子泵。如果粗抽泵（前级泵）选择得当，使真空室的粗抽时间等于分子泵的加速（启动）时间，则真空系统就能在没有泵油蒸汽返流的情况下把真空室抽到其本底压力。
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在润滑方面，配备一种新型润滑剂，具备更高的抗老化性、更优化的润滑性能和更强的耐热性，进一步提升真空泵组的安全性能，而且各款泵均可免维护运行5年。涡轮分子泵应用于镀膜机涡轮分子泵应用于镀膜生产线，客户某透明玻璃投射电容技术元件及模组生厂商,产品玻璃触控模组,广泛应用于智能手机中.爱发科涡轮分子泵1500U配置于该企业镀膜生产线中.
涡轮分子泵1500U技术参数
压缩比
Ar:>1X108
H2:6X103
He:2X105
N2:>1X108
抽速
Ar:1350l/s
H2:1150l/s
He:1350l/s
N2:1400l/s
进气口
DN250-ISO-K
极限真空重量
29KG
涡轮分子泵1500U抽速:涡轮分子泵1500对各种气体均有高抽吸能力,高工艺适用性,防止进入颗粒.集成驱动电路,适用于工业环境,通过保护等级IP54.带有气体密封阀24VDC的集成型气体密封系统.涡轮分子泵1500搭配控制器TC1200,通讯接口RS-485,远程遥控（Profibus/DeviceNet型号供选择）,多种配件供客户选择.
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